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Aunque la fecha del descubrimiento de los MicroElectroMechanical Systems (en adelante MEMS) no se conoce con exactitud, se puede decir que se empezaron a desarrollar alrededor del año 1970 y que fueron comercializados a partir de 1990.

MEMS es la tecnología de creación de dispositivos diminutos que funcionan mediante electricidad. El tamaño de un dispositivo de este tipo varía entre los 20 micrómetros y un milímetro. A su vez, los componentes que lo forman tienen tamaños que van desde uno hasta 100 micrómetros. Éstos dispositivos hacen posible que sistemas de cualquier tipo sean más pequeños, rápidos, eficientes y baratos.

En un sistema, los circuitos integrados son la parte "pensante", mientras que, los MEMS complementan esa inteligencia con una percepción activa y con funciones de control. Según esto, hay dos clases de MEMS: sensores y actuadores. Los sensores son los dispositivos que detectan información. Esa información puede ser de diversos tipos, como por ejemplo: información de procesos físicos, biológicos, químicos y ópticos. Por otro lado, los actuadores son los dispositivos que responden o actúan según el análisis realizado por la electrónica del aparato. Esas respuestas se traducen en movimientos, filtrados, etcétera, basados en una instrucción previamente diseñada.

Para la creación de los MEMS se usan herramientas y técnicas similares a las que fueron desarrolladas para la industria de los circuitos integrados. Entre las técnicas empleadas destacan la fotolitografía, moldeo por inyección, estampado, estéreo litografía y galvanoplastia. Además, esta tecnología permite el uso de una gran variedad de materiales. La elección de éste dependerá del tipo de dispositivo a crear. A pesar de eso, los materiales más comunes son el silicio, los polímeros y los metales.

El gran número de aplicaciones que tienen los MEMS hacen de ellos una parte fundamental de la tecnología en general. Algunas de esas aplicaciones son las impresoras de inyección de tinta, acelerómetros, giroscopios, sensores de presión, pantallas, y así, un largo etcétera. La investigación en la actualidad hace de los MEMS la tecnología del futuro, ya que, se ve la posibilidad, por ejemplo, de crear carreteras inteligentes que sean capaces de distinguir lo que ocurre sobre ellas.